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              1800度高溫燒結爐

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              單向退火爐

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              單向退火爐

              • 所屬分類:退火爐

              • 點擊次數:
              • 發布日期:2020/05/15
              • 規格:
              • 類型:
              • 在線詢價
              • 詳細介紹

              單向退火爐

              退火目的是什么?在高溫(1750℃)加熱狀態下,通過高溫促使晶體晶格打亂后重新排列,同時清除一些晶格內部缺陷,從而釋放內部應力,為后續加工奠定良好的基礎。晶體退火恒溫時間為36小時;每爐次退火時間為5天左右。退火后的晶棒在切割完成后,晶片翹曲低于1絲,線小于2毫米、內應力、崩邊現象及線痕度得到很大的提升;加工后的晶片成品率也達到了95%以上。成品率提高了,成本又降低了很多,同時延長了晶棒的切割線的使用壽命。


              單向退火爐



              主要技術參數

              型號

              LGYL-1800

              單向退火爐

              LGYL-1800

              雙向退火爐

              LGYL-1650

              單向退火爐

              LGYL-1650

              雙向退火爐

              有效工作區尺寸(mm)

              860*340*300

              860*340*300

              860*420*450

              860*420*450

              額定功率

              57KVA

              57KVA

              57KVA

              57KVA

              每爐裝載量

              4寸晶棒約5800mm

              4寸晶棒約5800mm

              4寸晶片約9000mm

              4寸晶片約9000mm

              額定溫度

              1750℃

              1750℃

              1600℃

              1600℃

              保溫材料

              氧化鋯纖維

              氧化鋯纖維

              氧化鋁纖維

              氧化鋁纖維

              移動軌道行程速率

              1040.4mm/分

              1040.4mm/分

              1040.4mm/分

              1040.4mm/分

              升降平臺行程速率

              92.8mm/分

              92.8mm/分

              92.8mm/分

              92.8mm/分

              操控方式

              手動與自動

              手動與自動

              手動與自動

              手動與自動

              工作電壓

              電爐加熱380V

              儀表工作220V

              電爐加熱380V

              儀表工作220V

              電爐加熱380V

              儀表工作220V

              電爐加熱380V

              儀表工作220V

              運行機構

              絲桿、軌道、電動運行

              絲桿、軌道、電動運行

              絲桿、軌道、電動運行

              絲桿、軌道、電動運行

              加熱元件

              1900型硅鉬棒(U型)

              1900型硅鉬棒(U型)

              1800型硅鉬棒(U型)

              1800型硅鉬棒(U型)

              控制精度

              ≤±0.5℃

              ≤±0.5℃

              ≤±0.5℃

              ≤±0.5℃

              控溫方式

              100段PID智能程序控溫,可編程序控制器(PLC)控制+觸摸屏+工控機


              本文網址:http://www.niatingsun.com/product/593.html

              關鍵詞:單向退火爐,1800退火爐

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